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UV光解废气净化设备在波长范围在高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧气成分会被裂解，然后经过组合后产生臭氧；另一方面可以将恶臭气体中的化学键断裂，使之构成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反响过程中，使恶臭气体净化后终被裂解、氧化生成简单并且稳定的化合物，如CO2、H2O、SO2、N2等。

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