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MEMS近几年逐步成熟为一个可驱动自身成长的系统产业，诸如家庭网关、家庭自动化、人机界面、实时健康监测系统、内嵌MEMS装置的智能可穿戴设备等等，都是以ME
MS为基础技术的重要应用。
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